工件振动如何影响测量精度?

 激光束的扫描速度是检测器的测量范围除以400 µsec ,因此激光束穿过工件的实际时间工件的外径除以扫描速度决定。

 

另外,一次扫描中工件振动引起的最大测量误差由激光束穿过工件的时间÷工件振动周期×工件振动幅度决定。

综上所述,振动对测量的影响(最大误差)可以计算为工件外径÷测量范围÷振动周期×振动幅度×400微秒。

使用LDM-304H(测量范围:90mm)测量外径为60mm、频率为10Hz、振幅为2mm的工件时(测量范围:90mm),测量中振动引起的最大误差为:

外径 60mm ÷ 测量范围 90mm ÷ 振动周期 0.1sec x 振幅 2mm x 400µsec = 5.33µm

它成为了。

实际测量中,当光束行进方向与工件移动方向一致时,该值为+5.33 µm,反之则为-5.33 µm 。

 

注意,上面的最大误差是一次扫描中可能出现的最大误差,通过增加平均次数来将误差平均掉。

另外,如果增加平均次数,振动方向和扫描方向将反复匹配和反转,从而抵消误差。